エアシャワー
エアーシャワーとは、クリーンルームの出入り口に設置され、作業者や搬入物に付着した汚染物をクリーンルーム内に持ち込むことを防止する装置です。
HEPAフィルターで清浄化された高速ジェットエアーを、人や搬入物の表面に直接当てて、付着した塵埃を除塵します。また、ドアが二重になっており、それらが同時に開放しない構造のため、外気とクリーンルームとを遮断するエアーロック機能も有しています。
通常、エアーシャワー内は不使用時、清浄化されており、クリーンルーム内に外部の汚染粒子が流入しない構造です。
